plasma表面處理設備在國內也被稱之為plasma設備，是21世紀工業上的新設備，利用活性成分的性質處理樣品表面，達到清潔的目的，除了具有清潔的作用外，還可以進行活化和腐蝕等，廣泛應用于各個領域以下是plasma表面處理設備的工作流程和注意事項。
       plasma表面處理設備中的等離子體基本是在特定的真空度條件下、電離等特定場所產生的，如低壓氣體的光輝等離子體。簡而言之，plasma表面處理設備的清潔須要在真空度狀態下(通常要保持在100帕上下)，因此須要真空泵來進行抽真空操作。其基本環節是將須要清潔的部件送進真空室進行固定，啟動真空泵等裝置，將真空度排出到10Pa左右的真空度，然后將等離子體清潔用的氣體引入真空室(根據清潔材質的不同，選擇的氣體也不同，例如O2、H2、Ar、N2等)，將壓力保持在100Pa左右的真空度室內的電極和接地裝置之間施加高頻電壓，氣體被破壞，通過輝光放電產生離子化，在真空度室內產生的等離子體（完）全復蓋清潔部件后，開始清潔作業，清潔環節持續數十秒到數分鐘。

下面具體介紹下使用等離子清洗機要注意什么:
1、在開啟plasma表面處理設備之前，要做好各種準備工作，首先要對操作的工作人員進行技術方面的培訓，讓他們能夠熟練掌握操作的程序，嚴格按照操作要求進行使用。
2、在正式使用plasma表面處理設備之前，要對它運行時的參數進行正確的設置，并且要按照儀器的使用說明書去認真的執行操作，不能隨意地使用。
3、保護等離子體點火裝置，以確保等離子清洗機正常開啟，否則會導致開啟困難或異常開啟。
4、如果對一次風管沒有通風的情況下，要保證plasma表面處理設備的發生器的運行時間在規定的時間內，不能大于設備說明書上要求的時間，要不然會把燃燒器破壞掉，從而造成很多不必要的損失。
5、要定期進行維護和保養。維修及保養plasma表面處理設備時，首先要將設備電源關掉，待斷電后再進行相應運作，確保不能帶電工作，以免發生意外。