1、plasma放空氣體壓力過低
可能原因：請檢驗汽體是不是打開或汽體是不是耗盡
解決措施：如出現(xiàn)該類警報請檢驗內(nèi)腔底端的破真空常用氣路電磁閥是不是正常情況下工作，路線有無斷路或短路。
2、plasmaCDA壓差過低警報（破空氣體壓力低）
可能原因：此警報為壓縮空氣氣壓不足夠警報，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的機器設備，出現(xiàn)此警報時需檢驗CDA是不是正常情況下氣路致機器設備端。
解決措施：核對氣路壓差是不是過高或過低，減壓表的警報值是不是設定正確。
檢驗電氣路線是不是出現(xiàn)斷路或短路。

3、plasma不發(fā)光
可能原因：1.機械泵是不是正常情況下運轉；2.射頻電源主板芯片燒毀；
處理措施：1.機械泵是不是正常情況下工作，查看真空壓力表值是不是達到正常情況下壓差值；如不能達到正常情況下壓強，則代表氣路有漏氣需重新檢驗氣路是不是固定好。
4.plasma打開機器設備右側面板，檢驗射頻電源主板芯片綠色燈在機器設備正常情況下運轉下是不是亮，如果不亮，請聯(lián)系東信高科售后人員進行替換。
4、plasma機械泵不工作
可能原因：1.真空泵油不足；2.電機燒毀；3.機械泵磨損
處理措施：1.清洗后，添加真空泵油；2.請聯(lián)系我公司客服
5、plasma清洗效(果)異常
可能原因：1.等離子功率不夠；2.選用不適合的反應汽體
解決措施：1.調(diào)節(jié)功率旋鈕，提高功率；2.工藝汽體是不是匹配合理；3.咨詢我公司客服；
6、plasma機械泵熱過壓保護，請檢驗路線和機械泵常見故障。
可能原因：出現(xiàn)此情況請首先觀察系統(tǒng)參數(shù)有無變化，機器設備突然斷電會引起系統(tǒng)參數(shù)清零，導致機器設備出現(xiàn)該類警報。
解決措施：如系統(tǒng)參數(shù)無變化，請核對熱繼電器是不是自動保護，按復位鍵，然后啟動真空發(fā)生系統(tǒng)。若不進行自動保護，請檢查電氣線路是否發(fā)生斷路或短路。檢查導線是否斷路或短路。如果沒有以上異常，請檢查機械泵。
7、plasma機械泵倒計(時)常見故障（機械故障），請檢驗機械泵時間工作能力，常見故障消除點一下復位鍵。
可能原因：所處理產(chǎn)品有嚴重滲氣情況，真空倒(計)時時間機器設備較短，沒法在機器設備時間內(nèi)抽到背底真空。
解決措施：檢驗真空門是不是關到位，逐級檢驗真空系統(tǒng)中各連接點，看是不是有管道銜接異?；驓?，機械泵常見故障，需檢驗保養(yǎng)機械泵。
8、plasma真空計常見故障警報
可能原因：真空計常見故障或毀壞，請檢驗并替換真空計。
解決措施：檢驗真空計是不是毀壞，檢驗真空計操縱路線是不是有斷路或短路。
9.plasma急停未復位或已按住，請打開急停按鈕
解決措施：檢驗急停是不是被按住，如沒有此情況，請檢驗急停路線。