低溫等離子體+光催化技術是指在等離子體反應器中填充TiO2催化劑，當反應器產生的高能量粒子將有機污染物分解成小分子時，這些物質在催化劑的作用下進一步被氧化分解成無機小分子，以達到凈化分離廢氣的目的。光催化劑與等離子體放電之間是相互影響的，催化劑可以改變等離子體放電的性質，使其放電產生氧化性更強的新活性物質；而等離子體放電會影響催化劑的化學組成、比表面積及催化結構，提高其催化活性，大大提升低溫等離子體+光催化技術凈化VOCs的效率。該組合技術比較適合處理大風量、低濃度的有機廢氣，具有運行成本低、反應速率快、無二次污染等優點。

       三種低溫等離子體處理環境工程污水的方法
       利用低溫等離子體技術處理環境工程污水，可在高能電子輻射、臭氧氧化、紫外光分解等多種方法的共同作用下，達到較好的處理效果。
       高能電子作用：
       低溫等離子技術在污水處理過程中產生大量的高能電子，通過與廢水中的原子和分子的碰撞，將能量轉化為基體分子的內能，通過激發、分解、電離等多個過程活躍廢水。
新的化合物是通過分解廢水中的分子鍵，并與游離氧和臭氧等活性因子發生反應而形成的。然后，Z將有毒物質轉化為無毒物質，并在原污水中降解污染物。
       臭氧氧化作用：
       在污水處理過程中，臭氧作為強氧化劑，使有害物質化合，形成某些中間產物，減少了原污水的毒性和有害物質的含量，經過幾次反省，終將受污染物質的有機物質分解成二氧化碳和水。對無機物質，可形成一定的氧化物進行脫除；
       紫外光分解作用：
       利用低溫等離子技術，紫外線照射可以單獨分解有害物質，也可以與臭氧聯合分解。分離分解作用主要是有害的分子物質通過吸收光子進入激發狀態，通過吸收能量使分子的分子鍵斷裂，然后與水中的游離物質發生反應，生成新的化合物釋放。
紫外線和臭氧的氧化可以同時處理難降解物質，效果更好。難降解有機物和殺蟲劑都能被快速分解。