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CRF plasma 等離子清洗機

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等離子刻蝕機表面清洗原理及優點

      等離子蝕刻機將高頻高壓施加到放電電極上,形成大量等離子體,與高壓聚乙烯外表分子結構可以直接或間接地功用,在外表分子結構鏈上形成正負官能團,界面張力顯著增大,加上粗糙化外表油、水、灰等協同作用,增強其附著力。

等離子蝕刻機具有處理時間短、速度快、操作簡單、易于控制等優點。以下是幾個方面:
1.等離子蝕刻機的清洗功能:可以去除基體外表的弱鍵和典型的-CH基有機雜物和氧化物。主要特點:對材料外表起功用,內部無腐蝕,可獲得超高潔凈度外表,為下一道道環節做好充分的準備。
2.等離子蝕刻機的腐蝕功用:通過典型的氣體組合,形成具有具有腐蝕性的的氣相等離子體與物塊外表的有機物發生氧化還原反應,形成一氧化碳、二氧化碳、H2O等其他氣體,從而達到等離子體腐蝕的目的。主要特點:材料工件腐蝕均勻;不損傷工件基體;能有效去除外表異物,達到理想的腐蝕程度。
3.等離子蝕刻機的活化功用:官能團具有穩定的親水性,對粘結有積極功用。其主要特征:可使聚合物外表形成活性原子、自由基和不飽和鍵,與等離子體內的活性顆粒發生反應,形成新的活性官能團,增加外表能量,改變外表的化學性質,能有效地增強外表附著力和粘結力。
4.等離子蝕刻機的涂裝功能:在等離子蝕刻機的涂裝中,兩種氣體與此同時進到反應室,氣體在等離子體的功效下匯聚。這比激活、清潔的應用要求更高。主要特點:可以使材料外表的分子結構鏈斷裂,形成新的自由基、雙鍵等活性官能團,從而在過程中形成交聯、分支等反應;活性氣體可以在材料外表匯聚形成一層沉積層,沉積層的存在將有效增強材料外表的粘接、涂層和印刷的粘結力。
       伴隨著電子信息產業的發展,等離子蝕刻機已成為許多電子信息產業的基本設備。隨之制造業技術規范的持續增強,國內等離子清洗技術的發展空間越來越大。

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